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特種氣體管道系統工程

特種氣體管道系統工程

特種氣體管道系統 Special Gas Pipeline System 是指SiH4,NF3,Cl2 等一些具有高危險性,應確保安全性的特氣。特種氣體是光電子、微電子等領域,特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基礎性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率,并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。

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我公司提供從供氣系統、排氣處理、監視系統的綜合管理系統;建立以安全為第一的特氣管理輸送系統。提供設計、選型、制造、安裝、測試、調試和系統托管服務等整體解決方案。

特氣系統主要包括氣源供應(特氣柜、BSGS)、特氣分配(VMB)、特氣輸送(管道閥門等)、工藝過程控制(PLC自動控制器)、以及氣體泄漏偵測、尾氣處理等主要模塊。

對于特殊氣體來講,氣體品種多,有毒有害氣體多,針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體,通常設計將鋼瓶置于氣瓶柜(Gas Cabinet) 內,再通過管路將氣體供應至現場附近的閥箱(VMB,Valve Manifold Box),而后再進入制程機臺的使用點(POU, Point of Use),于進入機臺腔體之前,會有獨立的氣體控制盤 (GB, Gas Box) 與制程控制模塊聯機,以質流控制器(MFC, MassFlow Controller)進行流量之控制與進氣的混合比例控制,一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥盤(VMP,Valve Manifold Panel)進行供應。


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