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中國的電子特氣市場


電子特氣是集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業生產中不可缺少的基礎和支撐性材料,被廣泛應用于薄膜、摻雜、腔室清洗、光刻、刻蝕、清洗、載氣、保護氣等工藝。2018年電子特氣在半導體前道制造所需材料中占比高達18%。中國電子特氣的發展對我國半導體芯片產業的發展起著至關重要的作用,也直接關系到國民經濟發展和國家戰略安全。日韓貿易摩擦把半導體材料對一個國家的重要性體現的淋漓盡致,僅僅高純度氟化氫,光刻膠和氟化聚酰亞胺三種產品就能對整個韓國國民經濟構成嚴重影響。日韓半導體材料事件也為國內半導體產業敲響了警鐘,未來半導體材料的國產化進程將會加速。

國家科技重大專項(02專項)的實施,對國內半導體材料企業具有歷史性的意義,不僅表明國家支持半導體支撐業的決心,在資金上更是給了國內企業“真金白銀”的支持。國家科技部2017年印發《“十三五”先進制造技術領域科技創新專項規劃》中關鍵材料部分提到面向45-28-14納米集成電路工藝,重點研發300毫米硅片、深紫外光刻膠、拋光材料、超高純電子氣體、濺射靶材等關鍵材料產品。同年,科技部還召開了“微納電子制造用超高純電子氣體”重點研發專項項目啟動會。

  國家發改委2017年印發《增強制造業核心競爭力三年行動計劃(2018-2020年)》第四部分高端專用化學品第三條提到的電子特氣包括:高純氯氣、氯化氫、鍺烷、溴化氫、氧硫化碳(COS羰基硫)、乙硼烷、砷烷、磷烷、乙硅烷。特種氣體2017年首次入選國家工信部《重點新材料首批次應用示范指導目錄(2017年版)》,2019年多達20種特氣產品入選,足見國家對電子氣體發展的重視程度。

中國電子特氣產品生命周期,就目前處于成長期,強盛期和衰落期以及一些被重新關注而且有潛力的電子特氣進行了分析說明。然后通過16家高純氨企業、17家笑氣企業、11家三氟化氮企業的綜合分析給出了相應的建議。2019 年LED產業寒冬加劇,無論是三安光電、華燦光電、澳洋順昌等一線大廠還是聚燦光電、德豪潤達、乾照光電等中小企業都未能幸免。所以造成了高純氨企業2019年日子都不太好過,還好個別企業提前開辟了外銷渠道,主要供應東南亞市場。但是高純氨現場制氣和回收項目在客戶端的成功落地又給該產品未來發展帶來了不確定性。對笑氣各應用領域進行了詳盡講解,電子行業占比高達70%,食品和娛樂領域的應用預計會逐漸縮減至穩定位置,2019年5月公安機關查獲用于非法吸食的笑氣銷售額近1500萬元,航天領域的使用比例未來可能會增加。三氟化氮在3D NAND和OLED技術上應用增長較快,但應用得最多的領域仍然是半導體和平板顯示。雖然需求量有所增加,但是新上項目產能都是非常大,其實早在2017年就已經出現了供需失衡的征兆。

對應用最多的前10種電子特氣進行了分別說明,就電子特氣按照不同行業(SEMI、DISPLAY、PV、COMPOUND)進行了成長性預測和分析。電子特氣行業雖然有很多政策支持,但是半導體客戶對電子特氣的穩定性也提出了非常嚴格的要求,氣態雜質、金屬雜質、塵埃粒子,SPEC幾乎都要求在PPB等級,要求具備持續性穩定供應能力。電子特氣同質化的加劇導致了產品利潤的下降,品質事故的賠償都是在百萬、千萬甚至上億級別。

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